蓝宝石研磨详细资料
相关excel文件
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各个excel文件属性名称解释
其中前两个文件单面磨1厚度-11.1起.xlsx和抛光1厚度-11.1起.xlsx是代表打磨和抛光的蓝宝石的一些参数变化。
而后两个文件则是对应前两个文件在打磨和抛光时设备的变化。
单面磨1厚度-11.1起.xlsx
- 工单号:工单的唯一标识符。
产品料号:产品的唯一标识符。
只有三个是吗?
|3003003006|
| ————|
|3003003023|
|3003003037|
- 产品名称
- 流程卡号:流程卡的唯一标识符。
产品尺寸
- 打磨阶段只有4寸的
T/R:
- 缩写代表什么意思?
- 类型:操作类型(一次或返工)。
流程名称:正在进行的流程名称。总共三个类型,抛光有10个
- |流程名称|
| —————————–|
|晶棒定装~包盒单抛流程01|
|晶棒定装~包盒单抛流程18|
|晶棒定装~包盒单抛流程30|
- |流程名称|
- 贴片投入数量:只有80这一种类型,抛光也是!
贴片投入日期:目前缺少具体时间,只有产出有具体时间。而且我不理解什么是贴片投入日期。
- |2024-11-02|
| ————|
|2024-11-03|
|2024-11-04|
|2024-11-05|
|2024-11-06|
|2024-11-08|
|2024-11-09|
|2024-11-10|
|2024-11-16|
|2024-11-17|
|2024-11-18|
|2024-11-19|
|2024-11-20|
|2024-11-21|
|2024-12-03|
|2024-12-04|
- |2024-11-02|
- 贴片产出日期
贴片机台:贴片使用的机台。
- |LMT01|
| ——-|
|LMT02|
|LMT03|
|LMT04|
|LMT05|
|LMT06|
|LMT08|
|LMT09|
|LMT10|
|LMT11|
- |LMT01|
贴片投入人员:贴片投入的操作人员。- 陶瓷盘号1-4:这个属性的值是什么意思?
- 贴片厚度:应该是贴片的当前厚度吧。目标厚度应该多少?
- 研磨1投入日期。
- 研磨1产出日期:投入日期和产出日期可能不在同一天,例如2024-11-05 00:28:49.257
- 研磨日期:这个怎么有的还和研磨1投入日期不太一样?例如2024-11-04 21:54:56.770,好像是跟研磨产出日期一致?
- 研磨设备:怎么就一台?
- 研磨1加工时间:就两类,一个是30一个是40。单位也没有给出
研磨1投入人员:研磨1投入的操作人员。- 是否一次加工完成:全是否
- 返修机台:1-10号机,少了7和9号机器,总共8台机器
- 研磨检1厚度
- 研磨1平均研磨量:这个平均研磨量怎么计算出来的?
- 研磨1平均研磨速率:这个平均研磨速率怎么计算出来的?
- 研磨1外减内均值
- 研磨1外减内均值_MAX:研磨1的外减内均值最大值。
- 研磨1单圈最大厚度差:研磨1的单圈最大厚度差。
- 研磨1厚度MAX_MIN:怎么没有没有数据?
- 研磨检1R值:研磨检1的R值。 这个检字是什么意思?
- 粗抛1投入日期:这个粗抛是抛光吗,后面不是有excel专门是抛光的吗
- 粗抛1产出日期:
- 粗抛设备:1-20少了几台
- 粗抛1加工时间:60 65 70 75 80 85 90 总共这几个选择
粗抛1投入人员:粗抛1投入的操作人员。- 粗抛1粗抛布使用时间:100多个选择,时间一般是100以内,最大不超过300
- 粗抛检1厚度。
- 粗抛1平均研磨量:这个值=研磨检1厚度 - 粗抛检1厚度,但是为什么说是平均?
- 粗抛1平均研磨速率:粗抛1的平均研磨速率。这个值怎么计算出来的?怎么很多事0.5,0.33,0,-1
- 粗抛1外减内均值:粗抛1的外减内均值。
- 粗抛R值:粗抛的R值。
- 粗抛1最小去除量:这个值代表什么意思?
抛光1厚度-11.1起.xlsx
- 工单号:工单的唯一标识符。总共20种
- 产品料号:产品的唯一标识符。总共5种
- 产品名称:多了一种实验料号1
- 流程卡号:流程卡的唯一标识符。四百多种
- 产品尺寸
- T/R:产品类型(T或R)。
- 类型:操作类型(一次或返工)。
流程名称:十个流程,比上面的研磨多了7个流程
- |流程名称|
| ——————————-|
|规格外观检~包盒返工流程05|
|晶棒定装~包盒单抛流程01|
|晶棒定装~包盒单抛流程18|
|晶棒定装~包盒单抛流程19|
|晶棒定装~包盒单抛流程30|
|配片前检查~包盒返工流程03|
|配片前检查~包盒返工流程08|
|配片前检查~包盒返工流程25|
|双面研磨2~包盒返工流程02|
|双面研磨2~包盒返工流程06|
- |流程名称|
- 贴片投入数量:全是80,这个是什么意思?
- 贴片投入日期:没有精确到分钟!
- 贴片产出日期:投入和产出可能不在一天,例如2024-11-01 01:30:10.983
- 贴片机台:1-11,少了编号7,10台机器
贴片投入人员:贴片投入的操作人员。- 陶瓷盘号1-4:使用的陶瓷盘编号。怎么这个陶瓷盘号还有个10916的,是导出错误吗?别的都是是1-999,少有的几个是1000左右的。这个陶瓷盘号干什么的
- 贴片厚度:贴片的厚度。
- 研磨1投入日期:具体时间没有精确到分钟。并且有个别空白
- 研磨1产出日期
- 研磨日期:貌似是跟研磨1产出日期相同,只是只包含日期而没有时间
- 研磨设备:1-12有12台机器
- 研磨1加工时间:26,28,30,40,45,46,56
研磨1投入人员:研磨1投入的操作人员。- 是否一次加工完成:绝大部分为否,极少数为是
- 返修机台:1-10号机器
- 研磨检1厚度:研磨检1的厚度。
- 研磨1平均研磨量:
- 研磨1平均研磨速率:这几个是怎么计算出来的?
- 研磨1外减内均值:
- 研磨1外减内均值_MAX:
- 研磨1单圈最大厚度差:
- 研磨1厚度MAX_MIN:怎么也是空,和上面的单圈最大厚度差是什么区别?
- 研磨检1R值:
- 粗抛1投入日期。
- 粗抛1产出日期。
- 粗抛设备:粗抛使用的设备。就一台,cmp01
- 粗抛1加工时间:种类是15-90每隔5增加一次,例如1,20,25,30…
粗抛1投入人员:粗抛1投入的操作人员。- 粗抛1粗抛布使用时间:粗抛1的粗抛布使用时间。
- 粗抛检1厚度
- 粗抛1平均研磨量:下面这几个数据都是怎么计算的到的?
- 粗抛1平均研磨速率
- 粗抛1外减内均值:
- 粗抛R值:
- 粗抛1最小去除量:
设备采集数据查询报表-单面抛光1-11.111.31.xlsx
- 时间:数据记录的时间戳。每隔一分钟生成一次。缺少11.16和11.17的数据
- File No:文件编号。全是4
- 抛光时间(min) :这个是什么意思?已经抛光多久的意思吗?和下面的s对应的是什么意思?
- 抛光时间(s) :抛光过程持续的秒数。
- 设定时间(min) :预设的抛光时间(分钟)。0-100内的值
- 设定时间(s) :预设的抛光时间(秒)。0,15,30,45
- 抛光布使用时间(HOUR) :
这个时间是怎么算出来的?我看数值为81的时候和抛光时间的加和对不上,但是80的时候能够对上刚好是60分钟的抛光时间。 - 抛光布使用时间(MIN) :
- TEMP Cloth:抛光布的温度。
- TEMP Rinse Little:小冲洗的温度。
- TEMP SLU/RIN:SLU/RIN的温度。
- TEMP Slurry Tank:浆料罐的温度。
- TEMP Table Coolant IN:冷却液进入抛光台的温度。
- TEMP Table Coolant OUT:冷却液从抛光台流出的温度。
- Press Center-1(now) :中心压力1的当前值。
- Press Center-1(set) :中心压力1的设定值。
- Press CYL-1 (now) :气缸1的当前压力。
- Press CYL-1 (set) :气缸1的设定压力。
- Rotation Table(now) :旋转台的当前转速。
- Rotation Table(set) :旋转台的设定转速。
- Rotation Center(now) :旋转中心的当前转速。
- Rotation Center(set) :旋转中心的设定转速。
- Separator Tank Delay:分离罐延迟时间。
- Separator Drain Delay:分离排水延迟时间。
- Flow Rinse:冲洗流量。
- Flow Rinse Little:小冲洗流量。
- Flow Slurry:浆料流量。
- Flow Table Coolant:抛光台冷却液流量。
设备采集数据查询报表-单面研磨1-11.111.31.xlsx
- 时间:数据记录的时间戳。
- 设备编号:就一个单面研磨机1一个选项
- 设备状态:设备的当前状态(运行或待机或故障)。貌似运行个六七分钟就待机六七分钟,是为了冷却吗?故障了1771分钟,30个小时左右。为什么明明
- 研磨时间(min) :研磨过程持续的分钟数。0-26这27个数值,但是大部分是0
- 研磨时间(s) :研磨过程持续的秒数。0-59这60个数值,但是大部分是0
- 中心轮设定转速:这个怎么有时候是0
- 中心轮运行转速:貌似实际运行速度比设定速度会高个1左右
- 下盘设定转速:下盘的设定转速。
- 下盘运行转速:下盘的实际运行转速。
- 下盘温度:下盘的温度。
- 程序编号:正在运行的程序编号。只有0和4
- 磨头外层设定压力1
- 磨头外层运行压力1:
- 磨头中心设定压力1:
- 磨头中心运行压力1
- 设定时间(min) :预设的研磨时间(分钟)。
- 设定时间(s) :预设的研磨时间(秒)。
- 铜盘使用时间(hour) :小于5
- 铜盘使用时间(min ) :
- 铜盘使用时间(s) :
- 单步设定时间(min) :
- 单步设定时间(s) :0-30
- 单步运行时间(min) :单步操作的实际运行时间(分钟)。
- 单步运行时间(s) :单步操作的实际运行时间(秒)。
- 下盘冷却水进水温度:冷却水进入下盘的温度。
- 下盘冷却水出水温度:冷却水从下盘流出的温度。
- 下盘冷却水流量:下盘冷却水的流量。
